@article{oai:akita-pu.repo.nii.ac.jp:00000738, author = {藤井, 達也 and 村上, 拓斗 and 呉, 勇波 and Fujii, Tatsuya and Murakami, Takuto and Wu, Yongbo}, journal = {秋田県立大学ウェブジャーナルB(研究成果部門), Akita prefectural University Web Journal B(Results of research)}, month = {Sep}, pages = {17--21}, title = {MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発}, volume = {4}, year = {2017}, yomi = {フジイ, タツヤ and ムラカミ, タクト and ゴ , ユウハ} }