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007_MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発
ファイル | ライセンス |
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007_MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発.pdf (2.5 MB) sha256 b2230f233ed10cbb7ed5e9e4eac80bc4927f19ecc9319b4449e1e41ddc68373c |
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Unported (CC BY-NC-ND 3.0) |
公開日 | 2017-10-18 | |||||
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ファイル名 | 007_MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発.pdf | |||||
本文URL | https://akita-pu.repo.nii.ac.jp/record/738/files/007_MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発.pdf | |||||
ラベル | MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発 | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 2.5 MB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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