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MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発
https://akita-pu.repo.nii.ac.jp/records/738
https://akita-pu.repo.nii.ac.jp/records/73895cf8f2a-af78-4ecf-b6a2-c5e5fa7ce77f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発 (2.5 MB)
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.png)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-10-18 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Development of Compact Material Testing Machine for Mechanical Characterization of Thin-Film Materials for MEMS | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | MEMS | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 薄膜材料 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 機械特性評価 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 破壊強度 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 微小欠陥 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 表面ダメージ | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | MEMS | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Thin-film material | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Mechanical characterization | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Fracture strength | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Micro defect | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Surface damage | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
藤井, 達也
× 藤井, 達也× 村上, 拓斗× 呉, 勇波× Fujii, Tatsuya× Murakami, Takuto× Wu, Yongbo |
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| 書誌情報 |
秋田県立大学ウェブジャーナルB（研究成果部門） en : Akita prefectural University Web Journal B(Results of research) 巻 4, p. 17-21, 発行日 2017-09-30 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 秋田県立大学（地域連携・研究推進センター） | |||||
