| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2017-10-18 |
| タイトル |
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タイトル |
MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発 |
| タイトル |
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タイトル |
Development of Compact Material Testing Machine for Mechanical Characterization of Thin-Film Materials for MEMS |
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言語 |
en |
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言語 |
jpn |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
MEMS |
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Other |
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主題 |
薄膜材料 |
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Other |
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主題 |
機械特性評価 |
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Other |
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主題 |
破壊強度 |
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Other |
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主題 |
微小欠陥 |
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Other |
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主題 |
表面ダメージ |
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en |
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Other |
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主題 |
MEMS |
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en |
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Other |
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主題 |
Thin-film material |
| キーワード |
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en |
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Other |
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主題 |
Mechanical characterization |
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言語 |
en |
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Other |
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主題 |
Fracture strength |
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言語 |
en |
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Other |
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主題 |
Micro defect |
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言語 |
en |
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Other |
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主題 |
Surface damage |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
藤井, 達也
村上, 拓斗
呉, 勇波
Fujii, Tatsuya
Murakami, Takuto
Wu, Yongbo
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| 書誌情報 |
秋田県立大学ウェブジャーナルB（研究成果部門）
en : Akita prefectural University Web Journal B(Results of research)
巻 4,
p. 17-21,
発行日 2017-09-30
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| 出版者 |
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出版者 |
秋田県立大学（地域連携・研究推進センター） |
MEMS用薄膜材料の機械特性評価のための小型材料試験機の開発 (2.5 MB)
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